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2019第 1 期 科研沙龙__崔智军__MEMS微加工工艺
2019-03-14 22:03  

科研沙龙是电信学院营造科研氛围,加强院内教职工学术交流、推动团队建设与合作的重要平台。313日,学院2019年科研沙龙正式启动,同时进行了第1次学术活动。

2019年度,电信学院的科研沙龙将围绕提升学院科研内涵开展活动,通过邀请校内外专家学术报告、讲座,以及主题研讨等活动形式,引导全院教师学习掌握学科领域研究动态,追踪学科领域的研究方向和研究热点,拓展科研视野和激发科研灵感。同时,通过科研沙龙,也为全院教师进行科研分享交流提供平台,促进科研团队建设。

说明: C:\Users\MS.QI\Documents\Tencent Files\313057508\FileRecv\MobileFile\IMG_20190313_145030.jpg

313日的第一次活动由崔智军副教授进行了题目为《MEMS微加工工艺》的报告,MEMSMicro Electro Mechanical Systems的缩写,是在微电子技术基础上发展起来、融合硅微加工、LIGA技术和精密机械加工等多种微加工技术,并应用现代信息技术构成的微型系统,制作这个系统所用到的工艺称为MEMS工艺。本次报告内容包括MEMS介绍、MEMS应用以及MEMS加工工艺三个部分的内容。在MEMS加工工艺制备流程方面,崔智军老师结合对降低微型磁通门功耗方面的研究,详细介绍了如何利用MEMS工艺制备实现物理器件。

 

 

(撰稿/王克刚  审核/陈守满  发布/邹圣雷)

附件【崔智军_MEMS微加工工艺.ppt
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